Preparation of fluorinated organic thin film for the prevention of stiction

점착방지를 위한 Fluorinated 유기 박막의 성장

  • 권명종 (한양대학교 금속재료공학과) ;
  • 이상호 (한양대학교 금속재료공학과) ;
  • 박진구 (한양대학교 금속재료공학과)
  • Published : 1997.10.01