한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

반도체 세정액 내에서의 오존의 용해도 및 그 기구에 대한 연구

The study on mechanism and solubility of ozone in semiconductor cleaning solutions

  • 한정훈 (한양대학교 금속재료공학과) ;
  • 박진구 (한양대학교 금속재료공학과)
  • 발행 : 1997.10.01
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