Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

1997.05a
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Pages.117-117
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1997

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)

권호 표지

Stress and microstructure of $WN_{x}$ bilayer films for X-ray mask

X-선 마스크 흡수체로써 텅스텐나이트라이드 이중 층의 응력과 미세구조

이태호 (한양대학교 재료공학과) ;
정창영 (한양대학교 재료공학과) ;
박칠근 (LG 종합기술원) ;
송기창 (LG 종합기술원) ;
전영삼 (LG 종합기술원) ;
이돈희 (LG 종합기술원) ;
안진호 (한양대학교 재료공학과)

Published : 1997.05.01

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Abstract

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