Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 1997.05a
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- Pages.113-113
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- 1997
Hydrogen ion beam effect on the synthesis of thin-film DLC with negative carbon ion beam
수소 이온빔이 탄소 음이온빔으로 증착되는 박막 DLC 합성에 미치는 영향
Abstract
Keywords