Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

The Effect of Ar/H2 Plasma Hydrogenation on the Surface Roughness and Resistivity Variation of Poly-SiGe Thin Film

Ar/H2 플라즈마 수소화 처리가 Poly-SiGe 박막의 표면거칠기 및 비저항 변화에 미치는 영향

  • 이승호 (강원대학교 재료공학과) ;
  • 이규용 (강원대학교 재료공학과) ;
  • 김이태 (강원대학교 재료공학과) ;
  • 소명기 (강원대학교 재료공학과) ;
  • 김교선 (강원대학교 화학공학과)
  • Published : 1997.05.01
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