한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

이온 질량 주입된 비정질 실리콘의 금속 유도 측면 결정화 거동에 관한 연구

A Study on the Metal Induced Lateral Crystallization Behavior of Ion Mass Doped Amorphous Silicon

  • 김태경 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 박철호 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 이병일 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 주승기 (서울대학교 재료공학부)
  • 발행 : 1997.05.01
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