한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

CVD Pt 박막의 증착과 특성 분석

Deposition and Characterization of CVD Platinum Thin Films

  • 이종명 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 황철성 (삼성전자 반도체연구소 공정개발 2팀) ;
  • 석창길 (APEX 연구개발실) ;
  • 김형준 (서울대학교 재료공학부)
  • 발행 : 1997.05.01
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