Electrical Properties of $SrBi_{2}Ta_2O_9$ Ferroelectric Thin Films Prepared by RF Magnetron Sputtering Method

RF 마그네트론 스퍼터링 방법에 의해 증착된 $SrBi_{2}Ta_2O_9$ 강유전체 박막의 전기적 특성

  • Published : 1997.05.01