Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 1997.05a
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- Pages.24-24
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- 1997
Hydrogen Effect on Deposition Rate of Aluminum Thin Films from Chemical Vapor Deposition using DMEAA
DMEAA를 사용하여 CVD법으로 증착한 Al 박막의 증착속도에 대한 수소 효과
Abstract
Keywords