Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Failure Mechanism of TiN Barrier under High Thermal Budget in W-Plug Common Contact

고온공정시 텅스텐 동시 contact에서 TiN barrier의 Failure Mechanism에 관한 연구

  • 최시영 (삼성전자, 반도체연구소) ;
  • 유봉영 (삼성전자, 반도체연구소) ;
  • 이권우 (삼성전자, 반도체연구소) ;
  • 이현덕 (삼성전자, 반도체연구소) ;
  • 강호규 (삼성전자, 반도체연구소) ;
  • 이문용 (삼성전자, 반도체연구소) ;
  • 이종길 (삼성전자, 반도체연구소)
  • Published : 1997.05.01
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Abstract

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