Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Impurity-Defect Interactions in MeV Ion Implanted Silicon Upon Annealing

MeV 이온주입된 실리콘의 열처리시 불순물과 이차결함간의 상호작용

  • 장윤택 (홍익대학교 금속.재료공학과) ;
  • 노재상 (홍익대학교 금속.재료공학과)
  • Published : 1997.05.01
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords