A Study of the growth and behavior of epitaxial Co$Si_{2}$ using Co/Zr bilayer on the different substrates

기판조건에 따른 Co/Zr 이중층을 이용한 epitaxial CoS$Si_{2}$ 성장 및 특성연구

  • 김동욱 (한양대학교 금속공학과 반도체재료실험실) ;
  • 전형탁 (한양대학교 금속공학과 반도체재료실험실)
  • Published : 1997.05.01