Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

가스 주입구의 위치가 헬리콘 플라즈마 특성 및 산화막 식각에 미치는 영향

  • 김정훈 (서울대학교 전기공학부 플라즈마 실험실) ;
  • 김진성 (서울대학교 전기공학부 플라즈마 실험실) ;
  • 김윤택 (서울대학교 전기공학부 플라즈마 실험실) ;
  • 황기웅 (서울대학교 전기공학부 플라즈마 실험실) ;
  • 주정훈 (군산대학교 재료공학과)
  • Published : 1997.07.01
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