02)567-9486
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The Korean Vacuum Society
http://www.kvs.or.kr
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
(한국진공학회:학술대회논문집)
1997.07a
/
Pages.206-206
/
1997
The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
Shallow trench 식각 공정시 발생하는 격자결함 관찰 및 제거동향 연구
이영준
(성균관대학교 재료공학과) ;
황순원
(성균관대학교 재료공학과) ;
김현수
(성균관대학교 재료공학과) ;
이주욱
(한국과학기술원 전자재료공학과) ;
이정용
(한국과학기술원 전자재료공학과 6a 염근영)
Published : 1997.07.01
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