플라즈마 건식식각 중에 발생하는 충격에 관한 연구

• 윤석훈 (삼성전자 반도체총괄 생산기술 2팀) ;
• 김희정 (삼성전자 반도체총괄 생산기술 2팀) ;
• 정재룡 (삼성전자 반도체총괄 생산기술 2팀) ;
• 현규택 (삼성전자 반도체총괄 생산기술 2팀) ;
• 백두현 (삼성전자 반도체총괄 생산기술 2팀) ;
• 이휘건 (삼성전자 반도체총괄 생산기술 2팀)

• 발행 : 1997.07.01

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