한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

A Simple efficient N atom source for nitride MOCVD based on a dielectric barrier discharge

  • 김태훈 (서울대학교 공업화학과) ;
  • 이지화 (서울대학교 공업화학과)
  • 발행 : 1997.07.01
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