02)567-9486
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The Korean Vacuum Society
http://www.kvs.or.kr
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
(한국진공학회:학술대회논문집)
1997.07a
/
Pages.186-189
/
1997
The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
RF Magnetron Sputtering 법에 의한 결정성 MgO 박막의 형성과 Plasma Damage 현상
손충용
(한양대학교 금속공학과 박막재료연구실) ;
조진희
(한양대학교 금속공학과 박막재료연구실) ;
박정원
(한양대학교 금속공학과 박막재료연구실) ;
박종완
(한양대학교 금속공학과 박막재료연구실)
Published : 1997.07.01
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