한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

RF Magnetron Sputtering 법에 의한 결정성 MgO 박막의 형성과 Plasma Damage 현상

  • 손충용 (한양대학교 금속공학과 박막재료연구실) ;
  • 조진희 (한양대학교 금속공학과 박막재료연구실) ;
  • 박정원 (한양대학교 금속공학과 박막재료연구실) ;
  • 박종완 (한양대학교 금속공학과 박막재료연구실)
  • 발행 : 1997.07.01
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