Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

ITO-유리위에 코팅된 다이아몬드상 카본박막의 전계방출 거동

  • 이승협 (명지대학교 물리학과, 우편번호 449-728 경기도 용인시) ;
  • 전동렬 (명지대학교 물리학과, 우편번호 449-728 경기도 용인시) ;
  • 이광렬 (한국과학기술연구원 세라믹스부, 우편번호 130-650, 서울 청량리 사서함 131) ;
  • 은광용 (한국과학기술연구원 세라믹스부, 우편번호 130-650, 서울 청량리 사서함 131)
  • Published : 1997.07.01
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Abstract

Indium thin oxide(ITO) 가 코팅된 유리위에 Ion beam spputtering depposition (IBSD)방법으로 다이아몬드상 카본(Diamond-like Carbon ; DLC)을 합성하여 전계방출 특성을 조사하였다. 박막의 합성은 이온 빔 전압을 1250 V, 전류를 20mA인 상태에스 합성 시간만을 조절하여 박막의 두계에 대한 변화를 주었다. 두께에 대한 전류-전압 특성은 두께가 약 750$\AA$인 경우 전기장이 10V/$\mu$m 일 때 $ extrm{cm}^2$당 1.3mA 정도의 전류를 방출하였으며 두께가 얇은 경우와 아주 두꺼운 경우에는 오히려 방출전류가 감소하는 경향을 보여 주었다.

Keywords