Ion Beam Assisted Deposition법에 의한 TiN 박막 제작 및 특성 연구

• 원정연 (충북대 물리학과) ;
• 김종호 (충북대 물리학과) ;
• 강희재 (충북대 물리학과) ;
• 백창현 (충북대 재료공학과) ;
• 방상렬 (충북대 물리학과) ;
• 홍주화 (충북대 물리학과) ;
• 위병용 (충북대 물리학과)

• Published : 1997.07.01

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