Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

AIIP 법으로 증착한 Al 피막의 증착율 및 증기분포에 관한 연구

  • 이득진 (포항산업과학연구원 계측연구팀) ;
  • 문종호 (포항산업과학연구원 계측연구팀) ;
  • 박형국 (포항산업과학연구원 계측연구팀) ;
  • 정재인 (포항산업과학연구원 계측연구팀) ;
  • 권오진 (포항산업과학연구원 계측연구팀) ;
  • 박종윤 (성균관대학교 물리학과)
  • Published : 1997.07.01
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