반응성 DC Magnetron Spputtering으로 제작한 $SnO_2$ 박막의 Sb doppant가 광학적, 전기적 특성에 미치는 영향

• 정해원 (인하대학교 전자.전기.컴퓨터공학부) ;
• 이천 (인하대학교 전자.전기.컴퓨터공학부) ;
• 신재혁 (국립기술품질원 무기화학과) ;
• 송국현 (국립기술품질원 무기화학과) ;
• 신성호 (국립기술품질원 무기화학과) ;
• 박정일 (국립기술품질원 무기화학과) ;
• 박광자 (국립기술품질원 무기화학과)

• Jung, Hae-Won ;
• Lee, Chun ;
• Shin, Jae-Hyuk ;
• Song, Guk-Hyun ;
• Shin, Sung-Ho ;
• Park, Jung-Il ;
• Park, Gwang-Ja

• 발행 : 1997.07.01

• PDF