Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 1997.07a
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- Pages.40-41
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- 1997
Grazing Incidence X-ray Reflectance 측정을 이용한 $AsH_3$ 처리된 InP 표면층의 As 분포에 대한 분석
Abstract
Keywords