Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Optical emission spectroscoppic study of reactive sppecies during remote Plasma-enhanced chemical vapor depposition of GaN

  • 손철수 (서울대학교 재료공하굽 반도체 재료 및 공정 실험실) ;
  • 윤의준 (서울대학교 재료공하굽 반도체 재료 및 공정 실험실)
  • Published : 1997.07.01
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Abstract

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