Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Remote Plasma Enhanced-Ultrahigh Vacuum Chemical Vappor Deposition(RPE-UHVCVD)법을 이용한 GaN의 저온 이단계 성장에서 핵생성층이 GaN 에피층에 미치는 영향

  • 김경국 (광주과학기술원 신소재공학과) ;
  • 김동준 (광주과학기술원 신소재공학과) ;
  • 백종식 (광주과학기술원 신소재공학과) ;
  • 조제희 (광주과학기술원 신소재공학과) ;
  • 성태연 (광주과학기술원 신소재공학과) ;
  • 김효근 (광주과학기술원 신소재공학과) ;
  • 박성주 (광주과학기술원 신소재공학과)
  • Published : 1997.07.01
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