Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

평판 용량 결합형 RF 방전 플라즈마 내 미세 오염 입자의 발생 및 행동양식

  • 연충규 (충북 청주시 홍덕구 향정동-1 LG Semicon. ULSI 연구소 2) 서울시 관악 신림동 56-1 서울공대 전기공학과) ;
  • 황기웅 (서울시 관악 신림동 산 56-1 서울공대 전기공학과)
  • Published : 1997.02.01
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