한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

Filtered Vacuum Arc 코팅 장치의 개발 및 특성조사

  • 김종국 (삼성전자(주) 기술총괄 생산기술센타) ;
  • 김흥범 (삼성전자(주) 기술총괄 생산기술센타) ;
  • 최병룡 (삼성전자(주) 기술총괄 생산기술센타) ;
  • 남승호 (삼성전자(주) 기술총괄 생산기술센타)
  • 발행 : 1997.02.01
PDF 다운로드
⟨ 이전 논문 다음 논문 ⟩

초록

키워드