Characteristics of GaN cpitaxial layer grown on 6H-SiC(0001) by RF-Molecular Beam Eppitaxy

  • 원상현 (경희대학교 전자공학과, 용인 447-701) ;
  • 정관수 (경희대학교 전자공학과, 용인 447-701) ;
  • 조학동 (동국대학교 물리학과, 서울 100-715) ;
  • 박승호 (동국대학교 물리학과, 서울 100-715) ;
  • 고남훈 (동국대학교 물리학과, 서울 100-715) ;
  • 강태원 (동국대학교 물리학과, 서울 100-715) ;
  • 엄기석 (위덕대학교 물리학과, 경주) ;
  • 윤갑수 (한양대학교 물리학과, 서울 133-971) ;
  • 김채옥 (한양대학교 물리학과, 서울 133-971)
  • 발행 : 1997.02.01