Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Si이 첨가된 다이아몬드상 카본 필름이 기계적 특성 및 구조

  • 김명근 (한국과학기술연구원 세라믹스연구부) ;
  • 조성진 (한국과학기술연구원 세라믹스연구부) ;
  • 최준엽 (대우 중공업 중앙 연구소) ;
  • 이광렬 (한국과학기술연구원 세라믹스연구부)
  • Published : 1997.02.01
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Abstract

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