이온빔보조증착에 의한 TiN 박막의 특성

  • 박형국 (포항산업과학연구원 계측연구팀) ;
  • 권오진 (포항산업과학연구원 계측연구팀) ;
  • 문종호 (포항산업과학연구원 계측연구팀) ;
  • 정재인 (포항산업과학연구원 계측연구팀)
  • 발행 : 1997.02.01