Cu MOCVD 공정에서 전구체들의 기상반응 메카니즘과 증착 속도에 대한 연구

  • 손종훈 (포항공과대학교 화학공학과 정보전자재료화학 연구실) ;
  • 박만영 (포항공과대학교 화학공학과 정보전자재료화학 연구실) ;
  • 이시우 (포항공과대학교 화학공학과 정보전자재료화학 연구실)
  • 발행 : 1997.02.01