Si(100), Si(111) 기판위에 RF-magnetron spputtering법으로 성장된 $CeO_2$박막의 특성

  • 장선희 (성균관대학교 물리학과 박막연구실) ;
  • 정동근 (성균관대학교 물리학과 박막연구실)
  • 발행 : 1997.02.01