한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

DRAM/FRAM capacitor electrode에서 산화물이 도입된 확산방지막특성에 관한 연구

Microcrystalline oxide incorporated diffusion barrier for DRAM/FRAM capacitor electrode

  • 윤동수 (연세 대학교 금속공학과) ;
  • 이성만 (강원 대학교 재료 공학과) ;
  • 백홍구 (강원 대학교 재료 공학과)
  • 발행 : 1997.02.01
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