Proceedings of the Korean Institute of IIIuminating and Electrical Installation Engineers Conference (한국조명전기설비학회:학술대회논문집)
- 1997.10a
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- Pages.52-54
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- 1997
A Study on the Magnetic Fields Measurement of Radio-Frequency Induction Coupled Plasma
고주파 유도 결합 플라즈마의 자기장 계측에 관한 연구
Abstract
고주파 유도결합 플라즈마(RFICP)에서 루우프법에 의해 자기장특성을 계측하였다. 자기장 계측은 플라즈마의 거시적 변화를 시간적으로 접근하며, 반도체 프로세스의 관건인 균일하고, 고집적인 분포를 얼마나 교란, 응집하는가를 검증하고, 밀도와의 관계를 비교, 분석하여 방적의 최적화를 규명할 수 있을 것이다. 작은 루우프 안테나(
Keywords