한국가스학회:학술대회논문집

한국가스학회 (The Korean Institute of GAS)
권호 표지

저온 농축법에 의한 극미량 성분 가스분석

Analysis of Trace Impurities in The Bulk Gases by a Cold Concentration Method

  • 이택홍 (대성산소(주) 초저온연구소) ;
  • 홍소영 (대성산소(주) 초저온연구소) ;
  • 정우찬 (대성산소(주) 초저온연구소) ;
  • 김영락 (대성산소(주) 초저온연구소) ;
  • 서정우 (대성산소(주) 초저온연구소) ;
  • 한주탁 (대성산소(주) 초저온연구소) ;
  • 박두선 (대성산소(주) 초저온연구소) ;
  • 손무룡 (대성산소(주) 초저온연구소)
  • Lee Taeck-Hong (Daesung Cryogenic Research Institute, Daesung Sanso Co., Ltd.) ;
  • Hong So Young (Daesung Cryogenic Research Institute, Daesung Sanso Co., Ltd.) ;
  • Jung Woo Chan (Daesung Cryogenic Research Institute, Daesung Sanso Co., Ltd.) ;
  • Kim Young Rak (Daesung Cryogenic Research Institute, Daesung Sanso Co., Ltd.) ;
  • Suh Jung Woo (Daesung Cryogenic Research Institute, Daesung Sanso Co., Ltd.) ;
  • Han Ju Tack (Daesung Cryogenic Research Institute, Daesung Sanso Co., Ltd.) ;
  • Park Doo Seon (Daesung Cryogenic Research Institute, Daesung Sanso Co., Ltd.) ;
  • Son Moo Ryong (Daesung Cryogenic Research Institute, Daesung Sanso Co., Ltd.)
  • 발행 : 1997.09.01
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초록

가스분석에서의 극미량 성분분석은 반도체산업의 발달과 더불어 매우 중요하다. 이 실험에서는 가스분석에서 범용으로 사용되는 열전도도 검출기를 장착한 가스크로마토그라피와 액체질소트랩을 이용하여 헬륨과 수소중의 일산화탄소와 메탄성분을 분석하였다. 농축법으로 결정된 미지 시료의 농도를 다른 종류의 검출기와 비교분석하였다. 이 방법에 의해서 결정된 농도는 허용된 오차 범위에서 만족할 만한 결과를 보여 주었다.

Analysis of trace impurities in the bulk .gas has been very important with the development of semi-conductor related industry. In the paper, we reported the analysis of the trace impurites of carbon monoxide and methane in the bulk helium and hydrogen by the GC-TCD with a cold nitrogen trap. We compared these results by the paraallel analysis. All data showed a good correspondence, showing reliable statistical error ranges.

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