한국가스학회:학술대회논문집
- 한국가스학회 1997년도 추계학술발표회 논문집
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- Pages.260-265
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- 1997
저온 농축법에 의한 극미량 성분 가스분석
Analysis of Trace Impurities in The Bulk Gases by a Cold Concentration Method
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이택홍
(대성산소(주) 초저온연구소) ;
- 홍소영 (대성산소(주) 초저온연구소) ;
- 정우찬 (대성산소(주) 초저온연구소) ;
- 김영락 (대성산소(주) 초저온연구소) ;
- 서정우 (대성산소(주) 초저온연구소) ;
- 한주탁 (대성산소(주) 초저온연구소) ;
- 박두선 (대성산소(주) 초저온연구소) ;
- 손무룡 (대성산소(주) 초저온연구소)
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Lee Taeck-Hong
(Daesung Cryogenic Research Institute, Daesung Sanso Co., Ltd.) ;
- Hong So Young (Daesung Cryogenic Research Institute, Daesung Sanso Co., Ltd.) ;
- Jung Woo Chan (Daesung Cryogenic Research Institute, Daesung Sanso Co., Ltd.) ;
- Kim Young Rak (Daesung Cryogenic Research Institute, Daesung Sanso Co., Ltd.) ;
- Suh Jung Woo (Daesung Cryogenic Research Institute, Daesung Sanso Co., Ltd.) ;
- Han Ju Tack (Daesung Cryogenic Research Institute, Daesung Sanso Co., Ltd.) ;
- Park Doo Seon (Daesung Cryogenic Research Institute, Daesung Sanso Co., Ltd.) ;
- Son Moo Ryong (Daesung Cryogenic Research Institute, Daesung Sanso Co., Ltd.)
- 발행 : 1997.09.01
초록
가스분석에서의 극미량 성분분석은 반도체산업의 발달과 더불어 매우 중요하다. 이 실험에서는 가스분석에서 범용으로 사용되는 열전도도 검출기를 장착한 가스크로마토그라피와 액체질소트랩을 이용하여 헬륨과 수소중의 일산화탄소와 메탄성분을 분석하였다. 농축법으로 결정된 미지 시료의 농도를 다른 종류의 검출기와 비교분석하였다. 이 방법에 의해서 결정된 농도는 허용된 오차 범위에서 만족할 만한 결과를 보여 주었다.
Analysis of trace impurities in the bulk .gas has been very important with the development of semi-conductor related industry. In the paper, we reported the analysis of the trace impurites of carbon monoxide and methane in the bulk helium and hydrogen by the GC-TCD with a cold nitrogen trap. We compared these results by the paraallel analysis. All data showed a good correspondence, showing reliable statistical error ranges.
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