한국전자현미경학회:학술대회논문집

Korean Society of Microscopy (한국현미경학회)
권호 표지

Sputtering으로 형성시킨 박막의 평면 및 단면 구조해석

  • 박경수 (삼성종합기술원 분석연구실) ;
  • 송호건 (삼성종합기술원 분석연구실) ;
  • 홍현창 (삼성종합기술원 광미디어연구실) ;
  • 안용진 (삼성종합기술원 광미디어연구실)
  • Published : 1996.05.01
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords