한국전자현미경학회:학술대회논문집

Korean Society of Microscopy (한국현미경학회)
권호 표지

Rf 마그네트론 스퍼터링으로 증착된 $RuO_2$ 박막의 미세구조 및 계면반응 특성분석

  • 배준철 (포항공과대학교 재료금속공학과) ;
  • 박찬경 (포항공과대학교 재료금속공학과)
  • Published : 1996.11.01
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