Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 1996.11a
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- Pages.248-250
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- 1996
Laser-Induced Wet Etching of Mn-Zn Ferrite
페라이트의 레이저 유도 습식 에칭
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Lee, Cheon
(Dept. of Electrical Eng. Inha Univ) ;
- Lee, Kyoung-Chul (Dept. of Electrical Eng. Inha Univ)
- Published : 1996.11.16
Abstract
VTR 자기헤드의 핵심소재로 사용되는 ferrite는 VTR 의 주기능인 영상의 기록 및 재생역할에 가장 중요한 소재이다. 이러한 종류의 head는 지금까지 mask wet chemical etching과 mechanical Process 에 의해 제작 되어왔다. 그러나 기록용량의 중가로 자기장치의 recording density를 높일것이 요구됨에 따라 자기헤드의 gap width를 줄일 필요가 있게 되었다. 본 연구는 mask와 photoresist를 사용하지 않고 ferrite를 직접 미세가공 하는 laser-induced wet etching을 이용하여 자기헤드의 기록용량을 높이고자 하였다.
Keywords