삼중탐침과 단일탐침에 의한 RF, DC, RF＋DC 플라즈마의 특성비교

필라멘트 직류 가열 방식에 의한 DC 플라즈마, Capacitive RF 플라즈마, 그리고 DC＋RF 혼성 플라즈마를 발생시켜서, 삼중탐침과 단일탐침으로 측정비교하여 다음과 같은 결과를 얻었다. 또한 두 개의 온도분포가 존재할 때 단일 탐침과 삼중탐침을 비교하여 삼중탐침이 energetic electron 포집함을 알 수 있었다.