한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

박막트랜지스터에서 불순물의 활성화 온도를 감소하기 위한 새로운 방법

New Method for Reduction Temperature of Dopant Activation in Thin Film Transistors

  • 신진욱 (서울대학교 공과대학 재료공학부) ;
  • 인태형 (서울대학교 공과대학 재료공학부서울대학교 공과대학 재료공학부) ;
  • 이병일 (서울대학교 공과대학 재료공학부) ;
  • 김광호 (서울대학교 공과대학 재료공학부) ;
  • 안평수 (서울대학교 공과대학 재료공학부) ;
  • 정원철 (서울대학교 공과대학 재료공학부) ;
  • 주승기 (서울대학교 공과대학 재료공학부)
  • 발행 : 1996.11.01
PDF 다운로드
⟨ 이전 논문 다음 논문 ⟩

초록

키워드