고에너지 이온주입에 의한 Gettering에 관한 연구

A Study on Gettering by High Energy Ion Implantation

  • 장윤택 (홍익대학교 금속·재료공학과) ;
  • 허태훈 (홍익대학교 금속·재료공학과) ;
  • 노재상 (홍익대학교 금속·재료공학과)
  • 발행 : 1996.11.01