The Effect of Self-Gettering by MeV $B^+$ Ion Implantation

MeV $B^+$ 이온주입에 의한 Self-Gettering 효과

  • 조남훈 (홍익대학교 금속·재료공학과) ;
  • 허태훈 (홍익대학교 금속·재료공학과) ;
  • 노재상 (홍익대학교 금속·재료공학과)
  • Published : 1996.05.01