한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

$\alpha$-step을 이용한 다결정 실리콘 빔의 잔류응력 기울기와 탄성계수 측정

Measurements of residual stress gradients and Young's modulus for polycrystalline silicon beam using a $\alpha$-step

  • 발행 : 1996.05.01
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