Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Phase Formation of Titanium Silicide on the $4^{\circ}$ Off-axis and On-axis Si(100) substrates

$4^{\circ}$ off-axis Si(100)와 on-axis Si(100) 기판위에서의 Ti 실리사이드상 형성

  • 이석재 (한양대학교 금속공학과) ;
  • 전형탁 (한양대학교 금속공학과) ;
  • 이확주 (한국표준과학연구원 미세조직) ;
  • 류현 (한국표준과학연구원 미세조직)
  • Published : 1996.05.01
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Abstract

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