Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 1996.05a
- /
- Pages.59-59
- /
- 1996
Study on the control of Co flux through ternary compound for the formation of epitaxial $CoSi_2$ using Co/Ti/Si system
Co/Ti/Si계를 이용한 정합 $CoSi_2$ 형성시 삼원계 화합물을 통한 Co 확산 제어에 관한 연구
Abstract
Keywords