한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

Helical Resonator 플라즈마 화학증착으로 제조한 Carbon Nitride 박막의 특성평가

A study on the properties of amporphous carbon nitride films prepared by Helical Resonator plasma enhanced chemical vapor deposition

  • 김주한 (연세대학교 금속공학과 박막재료연구실) ;
  • 김용환 (연세대학교 금속공학과 박막재료연구실) ;
  • 최동준 (연세대학교 금속공학과 박막재료연구실) ;
  • 백홍구 (연세대학교 금속공학과 박막재료연구실)
  • 발행 : 1996.05.01
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