한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)

권호 표지

증착시 산소 첨가가 MOCVD Pt 박막의 미세구조에 미치는 영향

Effect of $O_2$Addition on the Microstructure of MOCVD Pt Thin Films during the Deposition

이종명 (서울대학교 재료공학부) ;
황철성 (삼성전자 반도체 공정개발 2팀) ;
석창길 (APEX 연구개발센터) ;
김형준 (서울대학교 재료공학부)

발행 : 1996.11.01

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