Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Fabrication of $RuO_2$ thin films by D.C. Reactive Sputting

D.C Reactive Sputter 법에 의한 $RuO_2$ 박막 제조

  • 선호정 (현대전자산업 주식회사) ;
  • 홍권 (현대전자산업 주식회사) ;
  • 유상호 (현대전자산업 주식회사) ;
  • 박홍락 (현대전자산업 주식회사) ;
  • 김종철 (현대전자산업 주식회사)
  • Published : 1996.05.01
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Abstract

Keywords