한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

$Pt/Ti/SiN_x$층의 미세구조변화에 미치는 어닐링분위기의 영향

The effect of Annealing Ambient on the Microstructure Change in $Pt/Ti/SiN_x$ Layer

  • 발행 : 1996.05.01
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