Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Effect of Fluorine Addition on Structural and Water Absorption Properties of SiOF Thin Films

SiOF 박막의 구조적 특성 및 흡습성에 미치는 불소의 영향

  • 이석형 (한양대학교 금속공학과) ;
  • 유재윤 (한양대학교 금속공학과) ;
  • 박종완 (한양대학교 금속공학과) ;
  • 오경희 (국립기술품질원 신뢰성기술과)
  • Published : 1996.05.01
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Abstract

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